世界半导体论坛
人们经常将Photo Lithography (光刻)缩写成…
引言 我们已经使用“种子层概念”在薄膜太阳能电池的玻璃上形成…
对于晶圆减薄工艺做部分补充,这里主要针对的是晶圆背面减薄工艺…
引言 本文研究了硅的氧化物和氮化物的气相氟化氢蚀刻作用,新的…
为了阐明蚀刻残留物的形成机理,研究了氯/氦-氧、溴化氢/氦-…
平面互补场效应晶体管替代金属栅工艺流程从平面 CMOS 45…
射频前端(RFFE,RadioFrequency Front…
八大半导体制造工艺包括:晶圆制造→氧化工艺→光刻工艺→蚀刻工…
半导体工艺设备为半导体大规模制造提供制造基础。摩尔定律,给电…
FinFET在22nm节点的首次商业化为晶体管——芯片“大脑…